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記者從中國科學(xué)院獲悉，近日，中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站二期建設(shè)項(xiàng)目順利通過總驗(yàn)收。

納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站是中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（簡稱：中科院蘇州納米所）建設(shè)的，集材料生長、器件加工、測試分析為一體的材料領(lǐng)域重大綜合科研裝置。真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站面向國家戰(zhàn)略需求和科學(xué)前沿重大問題，開創(chuàng)一條變革性的技術(shù)路線，將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機(jī)互聯(lián)在一起，突破常規(guī)超潔凈環(huán)境下，獨(dú)立分散設(shè)備難以突破的材料本征特性、原子級精準(zhǔn)調(diào)控、表/界面調(diào)控和異質(zhì)集成、器件原位制造等局限，為國家戰(zhàn)略材料和前沿材料領(lǐng)域研究提供重要建制化、體系化綜合科研裝置的支撐。

中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站由中國科學(xué)院、江蘇省、蘇州市以及蘇州工業(yè)園區(qū)共同投資建設(shè)。自2014年4月開始，通過兩期建設(shè)，目前近40臺(tái)各種大型工藝設(shè)備通過203米長的超高真空管道互聯(lián)，已建成材料制備與工藝、微觀機(jī)理準(zhǔn)原位分析、跨尺度性能測試、氣氛可控和真空互聯(lián)控制與對接系統(tǒng)等五大模塊平臺(tái)。近日，來自中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、中科院化學(xué)研究所、中科院蘇州醫(yī)工所等單位的專家組成驗(yàn)收專家組，對二期建設(shè)項(xiàng)目進(jìn)行了現(xiàn)場鑒定，并一致同意通過驗(yàn)收。

自2019年試運(yùn)行起，至2022年底，實(shí)驗(yàn)站累計(jì)已開展合作課題651個(gè)，服務(wù)用戶數(shù)量220多家，逐步建立了以蘇州工業(yè)園區(qū)為中心，立足江蘇省，輻射長三角地區(qū)，延伸海內(nèi)外的用戶科研服務(wù)體系。

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