7月3日,半導(dǎo)體設(shè)備板塊在開盤經(jīng)歷短暫沖高之后走低。截至全天收盤,半導(dǎo)體設(shè)備指數(shù)(884229)報(bào)85313.456點(diǎn),跌幅0.74%。個(gè)股方面,北方華創(chuàng)(002371.SZ)報(bào)收303.92元/股,跌幅4.32%;拓荊科技(688072.SH)報(bào)收420.00元/股,跌幅1.40%;中微公司(688012.SH)報(bào)收153.20元/股,跌幅2.08%;耐科裝備(688419.SH)報(bào)收42.00元/股,跌幅1.36%。
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消息面上,6月30日荷蘭政府頒布了有關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備出口管制的新條例。根據(jù)新出口管制條例規(guī)定,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)需要向荷蘭政府申請(qǐng)出口許可證才能發(fā)運(yùn)最先進(jìn)的浸潤(rùn)式DUV系統(tǒng)(即TWINSCANNXT:2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng))。荷蘭政府將決定是否授予或拒發(fā)出口許可證,并將向ASML提供許可證所附條件的細(xì)節(jié)。
ASML30日回應(yīng)第一財(cái)經(jīng)記者稱,正如公司在今年三月發(fā)布的消息中所述,這些新的出口管制條例針對(duì)對(duì)象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù),包括最先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)。
商務(wù)部30日針對(duì)這一事件評(píng)價(jià)表示,荷方應(yīng)從維護(hù)國(guó)際經(jīng)貿(mào)規(guī)則及中荷經(jīng)貿(mào)合作大局出發(fā),尊重市場(chǎng)原則和契約精神,避免有關(guān)措施阻礙兩國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)正常合作和發(fā)展,不濫用出口管制措施,切實(shí)維護(hù)中荷企業(yè)和雙方共同利益,維護(hù)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定。
記者了解到,荷蘭政府出口限制條例主要針對(duì)的是ASML型號(hào)為TWINSCANNXT:2000i及后續(xù)推出的TWINSCANNXT:2050i產(chǎn)品,兩者均屬于DUV系列ArF光刻機(jī)產(chǎn)品。官方公布的性能參數(shù)顯示,上述兩款光刻機(jī)產(chǎn)品的分辨率為≤38nm,主要面向制程節(jié)點(diǎn)為7-28nm。
目前市場(chǎng)上的光刻機(jī)按照迭代的先后順序主要分為g-line、i-line、KrF、ArF、EUV五代,其中,g-line已逐漸被市場(chǎng)淘汰,第五代EUV光刻機(jī)的工藝節(jié)點(diǎn)目前是最優(yōu)的,能夠達(dá)到7nm以下。
在EUV光刻機(jī)市場(chǎng)方面,ASML目前處于絕對(duì)的壟斷地位。光大證券的研報(bào)顯示,ASML占有EUV光刻機(jī)100%的市場(chǎng)份額。據(jù)ASML財(cái)報(bào)數(shù)據(jù),2022年EUV光刻機(jī)均價(jià)高達(dá)1.76億歐元每臺(tái),遠(yuǎn)高于其他類型的光刻機(jī)。不過(guò)早在2019年,荷蘭政府就限制了的EUV光刻機(jī)產(chǎn)品的出口。在7-28nm制程段,ASML目前也僅有TWINSCANNXT:1980Di這一較老的型號(hào)產(chǎn)品在出口管制條例之外。
日本政府本月也出臺(tái)了類似的半導(dǎo)體制造設(shè)備出口管制措施,相關(guān)條例將于7月23日起實(shí)施。該措施將加強(qiáng)對(duì)23種芯片制造設(shè)備的出口管制,范圍包括清洗、薄膜沉積、熱處理、蝕刻、測(cè)試等。
不過(guò),在上周末召開的SEMICON China 2023展會(huì)期間,記者發(fā)現(xiàn)了一個(gè)小細(xì)節(jié)。盡管日本政府已經(jīng)頒布了相關(guān)政策,但無(wú)論是尼康(Nikon)半導(dǎo)體還是佳能(Canon)半導(dǎo)體,均在自己的展臺(tái)上展示了自己最先進(jìn)的產(chǎn)品。
尼康半導(dǎo)體公司的內(nèi)部人士對(duì)記者表示,目前政策還沒有落地,尼康作為日本的半導(dǎo)體企業(yè),不得不遵守日本政府的規(guī)定,政策落地后,公司將會(huì)積極研究,在政策劃定的范圍之內(nèi)和中國(guó)市場(chǎng)展開合作。
光大證券的數(shù)據(jù)顯示,近年來(lái),ASML、 Nikon、 Canon 三大企業(yè)光刻機(jī)在全球的銷量穩(wěn)步提升, 從 2015 年的 281 臺(tái)增長(zhǎng)至 2022 年的 551 臺(tái), 復(fù)合年均增長(zhǎng)率達(dá) 10.10%, 銷售收入由 2019 年的 945 億元增長(zhǎng)至 2022 年的 1318 億元, 復(fù)合年均增長(zhǎng)率達(dá) 11.73%, 其中 ASML 占據(jù)銷量的 8 成以上。
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